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    無塵室設計介紹?

    2018-11-16 點擊數:1195

    無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。

    無塵室的定義:空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,潔凈室可以占據廠房很多位置。

    無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣,連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內的制造區。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經由回風管道間,將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格,通過循環風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量,經過超高性能過濾網或過濾后,供應至Fab區。

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